안녕하세요.
궁금하넷 지식답변 팀 입니다.
궁금하신 내용에 대해서 답변을 드립니다.

이온주입(Ion Implantation) 공정 시 계면에 데미지를 입은 웨이퍼에 상처가 아물도록
온도 변화를 주는 공정을 ‘어닐링(Annealing)’이라 합니다다. 어닐링 방식의 경우, 퍼니스(Furnace)를 이용한 고온 가열 방식에서 현재는 급속 열처리 방식인 RTA(Rapid Thermal Annealing) 타입이 주류가 됐습니다.

어닐링 기술 역할 아래 쉽게 정리하여 적어드리겠습니다.
1. 실리콘에 도전 현상을 더 용이하게 만들어 줍니다.
아시는 것처럼 반도체의 원료인 규사는 전기가 통하지 않습니다. 이 위에 화학적 처리를 통해 상화에 따라 전기를 통하게도 통하지 않게도 만들어 디지털 신호를 전달 할 수 있는 반도체가 만들어 지는데 어닐링을 통하면 도전성(낮은 비저항)을 더 잘 확보하게 됩니다.
2. 불순물의 불필요한 확산을 제어할 수 있습니다.
어닐링을 통해 분자구조를 안정시키면 이러한 불필요한 불순물의 확산을 막아 조금 더 안정적인 반도체를 만들 수 있습니다.

참고해보시고 답변이 조금이나마 도움되셨기 바랍니다.

이상 지식답변 팀에서 답변드렸습니다.
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